半导体行业超纯水中钠离子含量限值是多少，如何检测钠离子？ 超纯水是半导体制造的"生命线"，贯穿晶圆清洗、光刻显影、蚀刻等500+道关键工艺，其纯度直接决定芯片良率与可靠性。作为水中最顽固的阳离子杂质，钠离子(Na⁺)会通过扩散作用穿透氧化层，导致MOS管阈值电压漂移、栅氧层击穿等致命缺陷。某12英寸晶圆厂实测数据表明 半导体 超纯水 pna 行业超纯水 含量限值 2025-10-21 20:23 2